Cet article s'étend de l'importance et de l'urgence de promouvoir le développement de l'industrie des circuits intégrés à la technologie clé du contrôle de la contamination environnementale de surface des plaquettes de circuits intégrés (SECC). Récemment, l'IRDS 2020 a clairement mis en avant l'exposé clé sur l'amélioration du rendement, soulignant que la contamination moléculaire aéroportée (AMC) est un facteur important provoquant des défauts aléatoires dans les plaquettes, et cet effet deviendra plus grave avec la diminution de la largeur de ligne des plaquettes. Dans cet article, les exigences technologiques pour le contrôle de la contamination environnementale de surface de 2021 à 2027 sont répertoriées en fonction de la concentration de contrôle admissible de différents polluants atmosphériques dans chaque processus de production, elle est exprimée en ppTV. En raison de la norme de contrôle stricte, il est exigé que la conception du système de ventilation de contrôle de la pollution chimique dans les salles blanches et les environnements contrôlés associés, la sélection du filtre chimique de l'air, les exigences de réglage et de performance. Cela doit être effectué strictement selon la norme. En outre, les indicateurs de performance du filtre chimique de l'air, le banc d'essai du filtre et la procédure de test dans l'ASHRAE la norme 145.2-2016 et d'autres contenus sont introduits.

Ou pourrions-nous réaliser nos rêves de nettoyage en essuie-glaces pour salles blanches ? Je pense que la réponse est OUI.